2023. 8. 31. 14:02ㆍ사업
실리콘 미세 구멍 정밀 가공용 공구(Silicon micro hole drilling PCD drill)
가공 품질과 공구 수명을 월등히 향상시킨 제품으로 드릴링머신 장비제조사 및 가공회사로 부터 성능과 사용 검증을 완료한 제품입니다. Si(실리콘), Quatz(쿼츠), ALN(알루미나) 등 난삭재 가공에 탁월한 장점을 가지고 있습니다.
| Model | D | d | L | L1 | L2 |
| D035L07 | 0.35 | 3.175 | 38.1 | 6.8 | 7.0 |
| D042L07 | 0.42 | 3.175 | 38.1 | 6.8 | 7.0 |
| D042L12 | 0.42 | 3.175 | 38.1 | 11.7 | 12.0 |
| D045L07 | 0.45 | 3.175 | 38.1 | 6.8 | 7.0 |
| D072L14 | 0.72 | 3.175 | 38.5 | 14.0 | 14.2 |
| D072L20 | 0.72 | 3.175 | 38.5 | 19.7 | 20.0 |
| D075L14 | 0.75 | 3.175 | 38.5 | 14.0 | 14.2 |
PCD drill 은 반도체 식각공정에 사용되는 실리콘 전극(Electrode)에 미세구멍을 뚫는 역할을 하며, 반도체 생산 공정 수율에 큰 영향을 주고 있습니다. 칩배출, 절삭유, 가공레시피 등 미세 구멍 가공에 관여하는 모든 조건들이 최적의 상태가 되었을 때, 우수한 품질의 드릴링 결과물을 만들 수 있습니다.
실리콘 드릴링 과정에서 미세한 입자 형태의 칩이 발생하게 되는데, 제대로 제거되지 않은 칩은 공구에 소착되어 가공 품질을 저하시키고, 나아가 공구 파손의 원인이 되기도 합니다. 자사 드릴 표면은 가공후에도 깨끗한 상태를 유지하고 있으며, 드릴의 날이 그대로 살아있는 것을 알 수 있습니다. 또한, 가공이 계속 되어도 구멍의 모양이 일그러지지 않고 일정한 상태를 유지합니다.
(주)에스앤테크는 협력사와 함께 실리콘 전극 미세구멍 가공용 PCD드릴을 개발해왔습니다. 오랜 기간 동안 자사 장비에서 직접 가공 테스트를 거치면서, 드릴의 성능을 업그레이드하고 있습니다.
테스트는 (주)에스앤테크가 보유하고 있는 (주)새한나노텍의 양면드릴링머신(BSSD500)을 사용하였습니다. 양면드릴링머신은 소재의 양쪽 면에서 동시에 드릴링하여 생산성을 향상시켰으며, 작업자가 중간 개입할 필요가 없다는 점에서 무인화, 효율화를 이끌어냈습니다. 또한 수평형 스핀들 배치로 구멍 가공 중 절삭 칩 배출에 용이한 구조를 가지고 있습니다.
자사 보유 장비(드릴링머신)와 검사 장치(공구부하감지장치)를 활용하여 가공 테스트도 가능합니다. PCD 드릴에 관심이 있으신분들은 아래 연락처로 문의 부탁드립니다.
제조: (주)테크맥
판매: (주)에스앤테크
info@saehannanotech.com
055-586-1331
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